Perfilómetro

El perfilometro KLA Tencor P-7 mide el perfil vertical de los patrones desarrollados o atacados mediante un arrastre ligero con una aguja a traves de la superficie y detectando su movimiento vertical. Esto permite a los usuarios determinar el espesor resistivo, la profundidad del ataque y la distancia del tamaño de paso en general. 

Figura 1. Perfilometro de aguja KLA Tencor

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