Microscopios Ópticos Digitales

En la dirección de microtecnologías, en CIDESI Querétaro, específicamente en el cuarto limpio, contamos con dos microscopios ópticos digitales. Estos equipos son utilizados para inspección, principalmente, en la fabricación de dispositivos y en los dispositivos mismos, lo que nos ayuda en obtener los resultados deseados en nuestros proyectos.

Las modalidades de operación de estos equipos, permiten obtener imágenes de calidad superior en comparación con las que se pueden obtener con microscopios ópticos convencionales, estas modalidades son soportados por su poderoso procesador de imágenes, y son las siguientes:
1) Amplia profundidad de campo,
2) Capturas multi-ángulos,
3) Multi-iluminación, y
4) Obtención de perfiles, volúmenes y alturas a través de la adquisición de imágenes mediante la creación de modelos 3D.

A continuación te mostramos algunas de las imágenes obtenidas por nuestros investigadores utilizando los microscopios ópticos del cuarto limpio:

Observación multi ángulo y amplia profundidad de campo

Mediante la obtención de imágenes en diferentes angulos al normal, el procesamiento de imágenes e iluminación angular, se puede observar la morfología de películas delgadas de diamante ultra nano cristalino.

Mediciónes en tiempo real

Podemos obtener mediciones de alturas o profundidad mediante la selección de un área en el mismo instante que estamos observando la muestra. En las figuras se obtuvó la altura de micro bolómetros obtenidos por micromaquinado.

Modelos 3D

El micro maquinado es un proceso muy utilizado en la fabricación de sensores, y la adecuada inspección de las estructuras es crítica en el correcto funcionamiento de estos dispositivos. En la figura de la izquierda se observa un sensor de vibración donde los resortes soportan una masa de silicio. En la figura de la derecha se observa una micro aguja que utilizamos en sensores de glucosa.

Inspección de dispositivos

En las imágenes de la derecha e izquierda se muestra la vista superior de 3 electrodos para el sensado de potencial de oxidación y un foto detector.

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