Category Archives: Sin categoría

wafer bonder

Wafer Bonder El perfilómetro KLA Tencor P-7 mide el perfil vertical de los patrones desarrollados o atacados arrastrando ligeramente una punta filosa a través de la superficie y detectando su movimiento vertical. Esto permite a los usuarios determinar el espesor de la resistencia, profundidad del ataque y tamaños de paso generales. Punta del perfilómetro KLA […]

Profilometer

Perfilómetro El perfilometro KLA Tencor P-7 mide el perfil vertical de los patrones desarrollados o atacados mediante un arrastre ligero con una aguja a traves de la superficie y detectando su movimiento vertical. Esto permite a los usuarios determinar el espesor resistivo, la profundidad del ataque y la distancia del tamaño de paso en general. […]

Ellipsometer

Elipsómetro https://youtu.be/-iBBCVyN1BY Dentro de los procesos de caracterización de materiales y el proceso de fabricación de dispositivos, la espectroscopia óptica, en especial, la espectroscopia elipsométrica; es una técnica para la obtención de información de las películas delgadas utilizadas en la fabricación de dispositivos en la dirección de Microtecnologías de CIDESI Querétaro. Fig. 1. Elipsómetro del cuarto […]

Critical point dryer

Secador en Punto Crítico En la fabricación de sistemas microelectromecánicos (MEMS) con dimensiones micrométricas, el proceso de secado es una etapa crítica, esto es debido a que los líquidos de trabajo (por ejemplo agua, IPA, etc.) ocasionan que partes móviles del dispositivo, como cantilivers, quedan adheridos con otros componentes del dispositivo e imposibilitan los grados […]

WIRE BONDING

WIRE BONDING En el cuarto limpio de CIDESI Querétaro, contamos con un equipo wire bonder “iBond5000 Dual bond model” de la compañia Kulicke&Soffa con el que realizamos los procesos de hilado de los dispositivos base semiconductores con su empaquetado. Este proceso lo utilizamos principalmente para verificar la funcionalidad de nuestros dispositivos N-MOS. La técnica de wire bonding […]

Digital Optical Microscope

Microscopios Ópticos Digitales En la dirección de microtecnologías, en CIDESI Querétaro, específicamente en el cuarto limpio, contamos con dos microscopios ópticos digitales. Estos equipos son utilizados para inspección, principalmente, en la fabricación de dispositivos y en los dispositivos mismos, lo que nos ayuda en obtener los resultados deseados en nuestros proyectos. Las modalidades de operación […]

Deep Reactive Ion Etching DRIE

DRIE La fabricación de dispositivos “Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS)” suele utilizar en la mayoría de los casos métodos complejos, en donde es necesario implementar herramientas especializadas que puedan resolver las necesidades del micro-maquinado. Dentro de dichos procesos se encuentran generalmente, procesos de fotolitografía, depósito de películas delgadas mediante evaporación térmica y sputtering, oxidación de obleas de silicio, unión de substratos de diferentes […]

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